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第262章 于是朝里有人好办事!(2 / 2)

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比如120、150等型号是由投料量决定,80炉则是指主炉筒的直径大小。

从而为大直径的硅单晶的生产做好铺垫,作为科技情报所的所长他能肯定即使外国有也绝不会透露。

罗翔知道大直径硅单晶相对具有生产成本低,利用率高的特点,生产大直径硅单晶是半导体产业的发展方向。

与此同时,生产硅单晶的单晶炉也向着大型化和自动化方向发展。

其中坩埚旋转及升降机构是单晶炉重要组成部分,在拉制单晶过程中,工艺参数内需要给予坩埚一定的旋转速度。

这需要该机构提供旋转功能,随着拉制单晶的进行,硅液面在坩埚中的相对位置会逐渐降低。

这时需保证硅液面与热场的相对位置,这需要该机构提供升降功能。但目前常见的坩埚旋转及升降机构运行不够稳定。

对系统稳定性要求极高的半导体设备带来较大的干扰,一旦出现故障,对人身及设备会造成较大损害。

而且叶回舟在这张图就是一张**,很多外接都没有展现出来,抽着烟的罗翔就小心翼翼笑地说:

“你这张是**,那你剩下的详解图配套设施图你有没有设计!”

叶回舟眨巴眨巴眼睛,卧槽,高手啊!

高工就没想到那么多,估计是高工专业不对口,毕竟他是学光学的,能看得懂机加工图就够牛鼻子了。

**没有详解图和附图就搭建成不了体系。

就算图给泄露出去,一两年之内他都不用担心的,因为成不了体系的东西,就是废物。

叶回舟把军书包拉在膝盖上打开书包低了头伸手翻了翻,又拿出一个大的笔记本递了过去。

罗翔忙把烟放在烟灰缸上,接过笔记本从第1页翻了起来。

良久之后,把笔记本合上,手还是微微颤抖着。

罗翔罗所长压抑着自己激动的心,这个大笔记本是这个80式单晶炉详解图例,每一个部件还有什么详细介绍。

比如头一张,一个部件的详解,附近的名称“外置式吸杂加料装置。”

包括安全壳、吸杂罐和加料器,吸杂罐用于放入安全壳对单晶炉进行吸杂操作,加料器用于放入安全壳对单晶炉进行加料操作。

叶回舟专门用了两章把这个装置尺寸搭建详细的介绍!

如果按照这个笔记本上,把所有的配件装置生产出来的话,那么有可能兔子的晶体生产将跨入一个崭新的世界。

当他翻到第最后几页时看到一种小装置尤其重要,他就有一种把现在的单晶炉技改的想法。

当直拉法生长无错位单晶的设备要用到惰性气体(氮气、氦气为主)环境在生产制备过程中。

目前,厂里单晶炉制备过程中惰性气体一般在停炉后直接外排,无回收装置,造成了极大浪费,增加了生产成本且污染环境。

且停炉后一般是自然冷却后再取晶体,虽然操作简单,但自然冷却时间较长,降低了生产效率。

这种小装置,在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行拆炉,取出晶体,对炉内的挥发物进行清除,并用酒精擦洗。

快捷而又没有太大污染,生产效率直线提高啊!

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